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摘要:从技术覆盖面与设备工艺角度,中国厂商在刻蚀领域技术水平与国际半导体巨头存在一定差距,但中微公司已打破国际半导体巨头垄断局面,中微公司等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户的生产线,其与北方华创作为中国刻蚀领域技术领先企业,将引领国产替代进程加速。
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