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装备制造
摘要:在《瓦森纳协定》限制下,我国已初步形成自主研发90nm光刻机产业链,虽与荷兰ASML的7nm全球高端产业链相差较远,但在局部领域已达到世界领先水平,并逐渐融入ASML高端产业链。本文主要从光刻机的产业链、市场格局等方面进行介绍。
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