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含氟电子气体包括氟化物系列、含氟硅化物、含氟硼化物和含氟锗化物等电子气体,占电子气体总体市场份额较高,是支撑半导体行业的重要原材料。本文介绍了含氟电子气体的种类、现状和技术难点,并简要分析了产业的发展趋势,认为传统氟化工企业的逐渐渗透是含氟电子气体进口替代的中坚力量。
电子信息
电子气体主要应用于半导体行业相关产品、材料等在制备过程中的蚀刻、成膜、掺杂和外延等工艺,是半导体制造过程中不可或缺的基础性支撑材料。目前,全球层面上电子气体市场寡头格局明显,国内市场也大部分依赖进口,我国半导体产业想要在发达国家垄断的格局下谋求发展,电子气体行业的发展也是重要的一环,电子气体国产化呼声日益增高。
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