半导体用电子气体摆脱完全依赖进口，国产化替代逐步放量

摘要：电子气体主要应用于半导体行业相关产品、材料等在制备过程中的蚀刻、成膜、掺杂和外延等工艺，是半导体制造过程中不可或缺的基础性支撑材料。目前，全球层面上电子气体市场寡头格局明显，国内市场也大部分依赖进口，我国半导体产业想要在发达国家垄断的格局下谋求发展，电子气体行业的发展也是重要的一环，电子气体国产化呼声日益增高。

近年来，我国半导体行业以及集成电路产业发展快速，对电子气体需求也进一步提升，电子气体发展规模逐年上涨，虽然国内电子气体市场被国外企业占据了85%，但随着国内企业在电子气体生产领域的突破，国产化替代趋势日渐明朗。

电子气体应用情况

电子气体的种类繁多，有近百种电子气体应用在半导体制造中，主要的也多达30余种，是集成电路等半导体工业制造所需的必须材料，主要涉及的领域有集成电路、显示、半导体照明、太阳能电池等，在应用的工艺方面主要可以分为外延用气体、蚀刻气体、掺杂气体、离子注入气体等。

表1 电子气体应用情况

(资料来源：公开信息整理)

电子气体行业规模有望继续增长

由于半导体产业的产品对其性能及参数极其重视，需要对制备工艺进行严格的控制，对原材料、制造环境等等均有极高的要求，随着芯片等产品精密化程度进一步提高，对半导体产业制备的要求也越来越高，因此对电子气体的要求，主要是在高纯度方面的要求也同步提升，总体来看，电子气体市场前景保持稳定乐观，未来有望受益于中国半导体行业的发展持续增长。

全球范围来看，2016年集成电路用电子气体的市场规模为35亿美元，2018年集成电路用电子气体的市场规模超过40亿美元，年平均增速达到7%左右。

国内范围来看，2018年，我国电子气体市场规模达到了132.8亿元，较2017年的112.4亿元增长了18.1%，增速较2017年同期增长近8.8个百分点，多年保持较高水平的增长。

图1 国内电子气体市场规模

(资料来源：公开信息整理)

电子气体市场呈寡头垄断的格局

从电子气体市场格局来看，国际上欧美及日本的几家巨头占据了94%的市场，其中美国气体化工和法国液化空气更是占据了20%以上的全球市场份额，行业整体高度集中，呈现出寡头垄断的格局。

图2 全球电子气体市场竞争格局

(资料来源：公开信息整理)

国内市场格局和全球相仿，随着我国相关电子产业的发展，对电子气体的需求不断提升，大型国际气体公司在国内建设生产基地，占据了我国电子气体85%的市场份额。

图3 国内电子气体市场竞争格局

(资料来源：公开信息整理)

国内电子气体企业逐步放量，推进国产化替代进程

近几年，国内电子气体产业已经起步并开始步入快速成长期，出现了江苏南大光电材料股份有限公司、佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司等一批电子气体生产企业，在高纯六氟化钨、三氟化氮、氨气等领域已经取得了突破。

但是，由于国内电子气体的生产和供应商规模较小、质量稳定性问题和产品的包装、储运等原因，国内电子气体的生产商还不能全面进入集成电路等领域。要真正实现电子气体的大规模本土化，摆脱对进口材料的依赖，依然任重道远。

表2 国内主要电子气体企业及主要产品

(资料来源：公开信息整理)

总结

我国半导体产业要实现从跟踪走向引领的跨越，电子气体的突破将是重要一环。需要国家落实和完善对该类企业的财税、资金等优惠政策，加大财政资金、大基金和金融部门的扶持力度，引导集成电路厂家使用国产电子气体，从而帮助企业把握发展机遇，加快企业技术进步和做大做强。